設備

開放する機器

1 超高圧電子顕微鏡 (JEM-1300NEF) Ω型電子分光装置内蔵, EDS(エネルギー分散型X線分光器)付き
2 収差補正走査/透過電子顕微鏡(JEM-ARM200F) 照射系、結像系二段補正、高効率X線検出器付き
3 広電圧超高感度原子分解能電子顕微鏡(JEM-ARM200CF)
4 収差補正高分解能電子顕微鏡 (JEM-ARM200F) ※筑紫キャンパスに設置
5 3次元観察用電子分光型電子顕微鏡 (JEM-3200FSK)
6 ローレンツ電子顕微鏡 (TECNAIG2-F20) ※筑紫キャンパスに設置
7 デジタル電子顕微鏡(TECNAI-20)
8 マイクロカロリーメーター高エネルギー分解能元素分析装置付き走査電子顕微鏡(SII TES + Zeiss-ULTRA55)
9 試料作製装置群
(1) デュアルビームFIB試料作製装置 (FEI Quanta 3D 200i)
(2) イオン研磨装置 (Gatan PIPS Ⅱ M-695)
(3) イオン研磨装置 TEMミル/Nanoミル (Fishione M 1050/1040)

課金制度

本事業の主旨として利用者に相応の料金(機器利用、技術補助)をご負担いただきます。

プラットフォームのご利用料金は以下の表のようになります。

表1 微細構造解析プラットフォームの利用料金

(2018年11月1日改定)

装置名 1枠(4時間)当たりの利用料金
機器利用 技術補助
超高圧電子顕微鏡 (JEM-1300NEF) 17,000円

4,000円


※本学職員による技術補助を必要と
 する場合は、各機器利用料に上記
 金額を加算する
収差補正走査/透過電子顕微鏡 (JEM-ARM200F) 16,000円
広電圧超高感度原子分解能電子顕微鏡 (JEM-ARM200CF) 17,000円
収差補正高分解能電子顕微鏡 (JEM-ARM200F) ※筑紫キャンパスに設置 16,000円
3次元観察用電子分光型電子顕微鏡 (JEM-3200FSK) 14,000円
ローレンツ電子顕微鏡 (TECNAI G2-F20) ※筑紫キャンパスに設置 11,000円
デジタル電子顕微鏡 (TECNAI 20) 9,400円
マイクロカロリーメーター高エネルギー分解能元素分析装置
(SII TES + SEM/Zeiss ULTRA55)
8,300円
+液体He実費
集束イオンビーム加工装置 (FEI Quanta 3D 200i) 14,000円

主な機器